Activités principales

Au sein du groupe SEMILAB, SOPRALAB développe et commercialise des instruments de métrologie optique destinés à la R&D ou à l'industrie.
Produits :
• Ellipsomètres Spectroscopiques (GES5E) : pour la caractérisation des couches minces
• Métrologie combinée : FTIR SE (Ellipsomètre Infra Rouge), EPA (Ellipsometric Porosimetry Atmospheric)
• Ellipsométrie Porosimétrie (Série PS) : dédiée à la mesure des couches minces micro et méso- poreuses (détermination de la porosité et de la taille des pores)
• PT-5 : outil de métrologie optique et électrique combinée destiné à l'industrie photovoltaïque couches minces sur grands panneaux

Technologie clés

SOPRALAB a été le pionnier de l'ellipsométrie spectroscopique, technique de caractérisation optique des couches minces. Déclinée pour la recherche ou l'industrie, cette méthode est maintenant la métrologie de référence pour la mesure d'épaisseur et des propriétés optiques des films minces.
Depuis 2006, SOPRALAB a introduit commercialement l'ellipsométrie porosimétrie, unique méthode de caractérisation de la porosité et de la taille des pores des couches minces.

Marchés applicatifs

Ces technologies s'appliquent largement dans les domaines des semi-conducteurs, de l'affichage (TFT LCD, OLED), du photovoltaïque (Silicium, couches minces), ainsi que pour les mesures des structures LED, couches optiques, SOL GEL, et tout autre processus films minces.

Les + Innovation / service

SEMILAB et SOPRALAB, par l'utilisation exclusive d'un brevet IMEC, commercialisent les ellipsomètres porosimètres, (EPA, Série PS) , outils de caractérisation non destructive des films micro et mésoporeux.